技術パラメータ

1.1 総合指標：

• 単一ガス（N₂、O₂、CO₂）変異係数：0.1%

• ガス比（N₂/ArとO₂/Ar）変異係数：0.03%

• サンプル所要量：≤10ml

• サンプル分析時間：≤2min

• 通気性：≥90%

1.2 質量分析計：

• 検出器タイプ：ファラデー型検出器

• 単位解像度：＜10%

• 最大動作圧力：1×10⁴MPa

• ピーク比の再現性（正常条件8h下N²とAr）：0.5%

• イーサネット経由のネットワーク化が可能

• 検出限界：5×10^-12mbar

• 質量範囲：1-100u

• 測定速度：20ms—60s/amu

• はいArの感度：200MA/mbar

• 近接質量数への影響：<10ppm

1.3 クリープポンプ：

• 回転数：0.01終了48rpm

• 回転モード：時計回り、反時計回りの2種類のモード

• 流量範囲：最大：MPモード:40ミリリットル/分（1.8升/時間、4ミリ管)、高周波モード：250ミリリットル/分（15升/時間、8ミリ管）

• **：0.3升/分（0.25ミリ管）

• 最大圧力：MPモードは0.5 MPa、高周波モードでは0.3MPa

1.4 真空抽出装置

• N₂注入速度：67升/秒

• 前段ポンプの抽気速度@50Hz：0.5m³/h

• 限界圧力：<1*10^-7hpa/<7.5*10^-8Torr

1.5 恒温水浴コントローラ：

• 温度安定性：0.04°C

• 最大圧力：3.5psi(0.24bar)

• 最大圧力速度：2.9gpm(11.0 jpm)

• 水容量：28L

• 温度制御範囲：周囲温度+10°C—170°C

2基本構成

1） 膜注入質量分析計本体：1スリーブ

2） クリープ注入ポンプ：1スリーブ

3） 真空抽出装置：1スリーブ

4） 恒温水浴：2スリーブ

5） 燃焼炉：1スリーブ

6） 付属品など：1スリーブ